開爾文探針提供了一種無損、無觸點(diǎn)的方法來測量各種材料組合的功函數(shù)差。這些探針可具有多種設(shè)計(jì)，包括不同的頂端形狀、長度和半徑。為了確定最佳設(shè)計(jì)，同時(shí)最大限度地減少測試。
 

　　開爾文探針可以確定材料的接觸電勢差(或功函數(shù)差)。這種探針基于時(shí)變電容器，使用兩個(gè)電極工作：
 

　　由功函數(shù)已知的材料制成的可移動(dòng)探針。
 

　　由功函數(shù)未知的材料制成的固定樣品。
 

　　當(dāng)這些電極電連接時(shí)，費(fèi)米能級(jí)達(dá)到平衡。功函數(shù)較低的材料中的電子流入功函數(shù)較高的材料中，這種流動(dòng)產(chǎn)生接觸電勢差，為電容器充電。此外，可移動(dòng)電極中的振動(dòng)改變存儲(chǔ)在電容器內(nèi)部的電能，并產(chǎn)生流動(dòng)的電流。通過測量這個(gè)電流，我們可以確定功函數(shù)差。也可以通過施加外部偏置電壓來建立補(bǔ)償操作并使電流為零。這種方法導(dǎo)致偏置電壓等于兩種電極材料之間的功函數(shù)差。
 

　　開爾文探針不僅具有多種應(yīng)用，還具有多種設(shè)計(jì)。比如說，可移動(dòng)電極可設(shè)計(jì)為多種形狀，例如圓形板和窄頂端。圓形板設(shè)計(jì)使得探針能夠形成平行板電容器。這種電容器產(chǎn)生很大的電容變化，無需復(fù)雜的電補(bǔ)償方案即可測量的電流。當(dāng)探針頂端較窄時(shí)，它可以掃描一個(gè)區(qū)域并產(chǎn)生橫向分辨率。此選項(xiàng)需要電補(bǔ)償電路，這是因?yàn)殡娙葑兓彤a(chǎn)生的電流很小。