開爾文探針掃描提高了掃描透射電子顯微鏡的性能，更適合高級(jí)納米技術(shù)研究，其與標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)顯微鏡相比，分辨率提高了1.5倍，同時(shí)，探針電流提高了10倍。

　　探針掃描廣泛地應(yīng)用于金屬材料(鋼鐵、冶金、有色、機(jī)械加工)和非金屬材料(化學(xué)、化工、石油、地質(zhì)礦物學(xué)、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維)等檢驗(yàn)和研究。在材料科學(xué)研究、金屬材料、陶瓷材料、半導(dǎo)體材料、化學(xué)材料等領(lǐng)域進(jìn)行材料的微觀形貌、組織、成分分析，各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分 析和失效分析，材料實(shí)時(shí)微區(qū)成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面掃描和線掃描分布測(cè)量，晶體、晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶粒取向測(cè)量。

　　探針掃描具有完整高效的檢測(cè)系統(tǒng)、高的分辨率以及簡(jiǎn)便的操作方式，物鏡設(shè)計(jì)將靜電場(chǎng)與磁場(chǎng)結(jié)合，可提升光學(xué)性能的同時(shí)將場(chǎng)發(fā)射對(duì)樣品的損傷降低，此設(shè)計(jì)確保了成像質(zhì)量，即使是較具挑戰(zhàn)性的磁性材料也同樣可以達(dá)到良好的成像效果。

　　開爾文探針掃描通過二次電子和背散射電子的檢測(cè)也使得高效率的信號(hào)探測(cè)成為可能，探測(cè)器安裝在光軸上，可以減少調(diào)整時(shí)間，可降低成像時(shí)間。電子束加速器技術(shù)確保了小的探針尺寸和高的信噪比，以達(dá)到低的加速電壓。