多功能磁控濺射儀在單個陰極靶系統(tǒng)中，與脈沖磁控濺射有同樣的釋放電荷、防止打弧作用，適用于高分辨掃描電鏡及聚焦離子束掃描電鏡樣品的噴金以及樣品等離子體清洗等多種用途。

　　儀器實現(xiàn)磁控濺射噴金，獲得更為細膩的金膜，以滿足高分辨掃描電鏡等樣品處理，同時具備射頻離子源實現(xiàn)樣品清洗，高效、低等離子體轟擊損傷，核心部件采用無油分子泵組，靜音、無需操心真空系統(tǒng)和操作間環(huán)境泵油污染，保證設(shè)備具有優(yōu)異的質(zhì)量與穩(wěn)定可靠性，觸摸屏界面操作，即插即用。

　　該設(shè)備是一款小型磁控濺射鍍膜儀，主要特點是設(shè)備體積小，結(jié)構(gòu)簡單緊湊易于操作，對實驗室供電要求低，該系列設(shè)備主要部件采用的配置，從而提高設(shè)備的穩(wěn)定性，另外智能操作系統(tǒng)在設(shè)備的運行重復(fù)性及安全性方面得到更好地保障。

　　設(shè)備主要優(yōu)勢：

　　1、設(shè)備集成度高，結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，可以放置于實驗桌面上即可；

　　2、通過更換設(shè)備上下法蘭可以實現(xiàn)磁控與蒸發(fā)功能的轉(zhuǎn)換，實現(xiàn)一機多用；

　　3、設(shè)備需要拆卸的部分均采用即插即用的方式，接線及安裝調(diào)試簡單，既保證了設(shè)備使用方便又保證了設(shè)備的整潔性；

　　4、多功能磁控濺射儀可將主機置于手套箱內(nèi)，水、電、氣等，與手套箱的對接靈活方便；

　　5、保證了設(shè)備的質(zhì)量及穩(wěn)定性；

　　6、PLC+觸摸屏智能操作系統(tǒng)，具有智能控制模式和調(diào)試維修模式；

　　7、控制系統(tǒng)具備漏氣自檢與提示功能，當設(shè)備漏氣時，系統(tǒng)會自動提示設(shè)備漏氣，以便用戶進行檢漏，保證設(shè)備正常穩(wěn)定運行；

　　8、控制系統(tǒng)具備保養(yǎng)維護提示功能，當設(shè)備運行達到一定時長，系統(tǒng)會自動提示設(shè)備需要維護保養(yǎng)，以便用戶及時進行維護，保證設(shè)備正常穩(wěn)定運行。