開爾文探針系統(tǒng)-半導(dǎo)體表征

開爾文探針(Kelvin Probe)是一種非接觸無損震蕩電容裝置，用于測量導(dǎo)體材料的功函數(shù)(Work Function)或半導(dǎo)體、絕緣表面的表面勢(Surface Potential)。

材料表面的功函數(shù)通常由最上層的1-3層原子或分子決定，所以開爾文探針是一種靈敏的表面分析技術(shù)。

開爾文探針系統(tǒng)-半導(dǎo)體表征包括：

□   單點(diǎn)開爾文探針(大氣環(huán)境及氣氛控制環(huán)境)；

□   掃描開爾文探針(大氣環(huán)境及氣氛控制環(huán)境)；

□   超高真空(UHV)開爾文探針；

□   濕度控制的腐蝕開爾文探針；

(ASKP)

   ASKP系統(tǒng)是一款可以被大多數(shù)客戶所接收的掃描開爾文探針系統(tǒng)，它是在SKP基礎(chǔ)之上包括了彩色相機(jī)/TFT顯示器、2毫米和50微米探針、外部數(shù)字示波鏡等配置，其規(guī)格如下：

□    2毫米，50微米探針；

□    功函數(shù)分辨率 1-3 meV(2毫米針尖)，5-10 meV(50微米針尖)；

□    針尖到樣品表面高度可以達(dá)到400納米以內(nèi)；

□    表面勢和樣品形貌3維地圖；

□    探針掃描或樣品掃描選配；

□    彩色相機(jī)、調(diào)焦鏡頭、TFT顯示器和專業(yè)的光學(xué)固定裝置；

□    參考樣品(帶相應(yīng)的掃描開爾文探針系統(tǒng)的形貌)；

□    備用的針尖放大器；

□    24個(gè)月超長質(zhì)保期；

儀器的特色

□    全球臺(tái)商用的*意義上的；

□    最高分辨率的功函數(shù)和表面勢，好的穩(wěn)定性和數(shù)據(jù)重現(xiàn)性；

□    非零技術(shù)(Off-null,ON) ——ON信號(hào)探測系統(tǒng)在高信號(hào)水平下工作，與基于零信號(hào)原理(null-based,LIA)的系統(tǒng)相比，不會(huì)收到噪聲的影響擁有高靈敏度；

□    高度調(diào)節(jié)技術(shù) ——我們的儀器在測量和掃描時(shí)可以控制針尖的高度。因?yàn)楣瘮?shù)受　　　　　　　　　　　　　　樣品形貌的影響，針尖與樣品表面距離的調(diào)節(jié)意味著數(shù)據(jù)的高重現(xiàn)性且不會(huì)漂移；

□    該領(lǐng)域內(nèi)，擁有好的信噪比；

□    快速響應(yīng)時(shí)間 ——測量速度在0.1-10秒間，遠(yuǎn)快于其他公司產(chǎn)品；

□    功能強(qiáng)的驅(qū)動(dòng)器 ——選用Voice-coil(VC)驅(qū)動(dòng)器，與通常的壓電驅(qū)動(dòng)器相比，VC驅(qū)動(dòng)器頻率要穩(wěn)定得多、控制的針尖振幅大得多、支持平行多探針操作、支持不同直徑探針操作；

□    所有開爾文探針參數(shù)的全數(shù)字控制；

應(yīng)用領(lǐng)域

   吸附，電池系統(tǒng)，生物學(xué)和生物技術(shù)，催化作用，電荷分析，涂層，腐蝕，沉積，偶極層形成，顯示技術(shù)，教育，光/熱散發(fā)，費(fèi)米級(jí)掃描，燃料電池，離子化，MEMs，金屬，微電子，納米技術(shù)，Oleds，相轉(zhuǎn)變，感光染色，光伏譜學(xué)，高分子半導(dǎo)體，焦熱電，半導(dǎo)體，傳感器，皮膚，太陽能電池，表面污染，表面化學(xué)，表面光伏，表面勢，表面物理，薄膜，真空研究，功函數(shù)工程學(xué)；

目前通過我司購買的的開爾文探針測試系統(tǒng)，目前在南昌航空大學(xué)工作正常，運(yùn)行穩(wěn)定。